Manufacture and characterization of graphene membranes with suspended silicon proof masses for MEMS and NEMS applications
نویسندگان
چکیده
منابع مشابه
Ultra-thin Graphene/Polymer Layered Composite Membranes for NEMS applications
Single layer chemical vapor deposited (CVD) graphene has shown great promise in enabling Micro and Nanoelectromechanical Systems (MEMS/NEMS) that can outperform current silicon-based state of the art. However, current methods in forming single layer graphene MEMS devices result in low yields due to capillary effects acting on the suspended material during the graphene transfer process. In addit...
متن کاملUltrananocrystalline and Nanocrystalline Diamond Thin Films for MEMS/NEMS Applications
Anirudha V. Sumant, Orlando Auciello, Robert W. Carpick, Sudarsan Srinivasan, and James E. Butler of smooth diamond films with uniform thickness and micro/nanostructure over large area substrates (≥150 mm diameter wafer), as recently demonstrated.1 Growth of thin (0.1 to 5 micron thick) diamond films on nondiamond substrates, typically conventional electronic substrates such as Si, SiC, and AlN...
متن کاملCharacterization of micromachined silicon membranes for immunoisolation and bioseparation applications
The application of microfabrication technology to create precise separation and isolation membranes for biomedical applications is described. By utilizing fabrication techniques commonly employed in the microelectronics industry (MEMS), membranes can be fabricated with well-controlled and uniform pore sizes, allowing the optimization of membrane parameters for biomedical applications in cell im...
متن کاملsynthesis and characterization of some macrocyclic schiff bases
ماکروسیکلهای شیف باز از اهمیت زیادی در شیمی آلی و دارویی برخوردار می باشند. این ماکروسیکلها با دارابودن گروه های مناسب در مکانهای مناسب می توانند فلزاتی مثل مس، نیکل و ... را در حفره های خود به دام انداخته، کمپلکسهای پایدار تولید نمایند. در این پایان نامه ابتدا یک دی آلدئید آروماتیک از گلیسیرین تهیه می شود و در مرحله بعدی واکنش با دی آمینهای آروماتیک و یا آلیفاتیک در رقتهای بسیار زیاد منجر به ت...
15 صفحه اولذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: Microsystems & Nanoengineering
سال: 2020
ISSN: 2055-7434
DOI: 10.1038/s41378-019-0128-4