Manufacture and characterization of graphene membranes with suspended silicon proof masses for MEMS and NEMS applications

نویسندگان
چکیده

برای دانلود باید عضویت طلایی داشته باشید

برای دانلود متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

Ultra-thin Graphene/Polymer Layered Composite Membranes for NEMS applications

Single layer chemical vapor deposited (CVD) graphene has shown great promise in enabling Micro and Nanoelectromechanical Systems (MEMS/NEMS) that can outperform current silicon-based state of the art. However, current methods in forming single layer graphene MEMS devices result in low yields due to capillary effects acting on the suspended material during the graphene transfer process. In addit...

متن کامل

Ultrananocrystalline and Nanocrystalline Diamond Thin Films for MEMS/NEMS Applications

Anirudha V. Sumant, Orlando Auciello, Robert W. Carpick, Sudarsan Srinivasan, and James E. Butler of smooth diamond films with uniform thickness and micro/nanostructure over large area substrates (≥150 mm diameter wafer), as recently demonstrated.1 Growth of thin (0.1 to 5 micron thick) diamond films on nondiamond substrates, typically conventional electronic substrates such as Si, SiC, and AlN...

متن کامل

Characterization of micromachined silicon membranes for immunoisolation and bioseparation applications

The application of microfabrication technology to create precise separation and isolation membranes for biomedical applications is described. By utilizing fabrication techniques commonly employed in the microelectronics industry (MEMS), membranes can be fabricated with well-controlled and uniform pore sizes, allowing the optimization of membrane parameters for biomedical applications in cell im...

متن کامل

synthesis and characterization of some macrocyclic schiff bases

ماکروسیکلهای شیف باز از اهمیت زیادی در شیمی آلی و دارویی برخوردار می باشند. این ماکروسیکلها با دارابودن گروه های مناسب در مکانهای مناسب می توانند فلزاتی مثل مس، نیکل و ... را در حفره های خود به دام انداخته، کمپلکسهای پایدار تولید نمایند. در این پایان نامه ابتدا یک دی آلدئید آروماتیک از گلیسیرین تهیه می شود و در مرحله بعدی واکنش با دی آمینهای آروماتیک و یا آلیفاتیک در رقتهای بسیار زیاد منجر به ت...

15 صفحه اول

ذخیره در منابع من


  با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ژورنال

عنوان ژورنال: Microsystems & Nanoengineering

سال: 2020

ISSN: 2055-7434

DOI: 10.1038/s41378-019-0128-4